氦檢漏儀是一種以氦氣作為示蹤氣體，專門用于檢測有氣密性要求的產品密封性的質譜分析儀器。主要是基于質譜分析技術。它采集被檢件中的氣體并將其電離，利用不同種類氣體離子質荷比不同的特點，通過磁偏轉分離原理檢出氦離子。通過測量氦離子流來確定漏孔的大小及位置。

　　氦檢漏儀的操作流程：

　　1、準備階段

　　檢查電源和氣源：確保儀器的電源和氣源連接正確，電源符合儀器的要求，氣源（氦氣）充足且純凈。

　　校準儀器：按照說明書對儀器進行校準，確保檢測數據的準確性。校準過程可能包括零點校準和標準漏率校準。

　　2、檢漏階段

　　啟動儀器：打開儀器的電源開關，等待儀器預熱和穩(wěn)定，直至進入正常工作狀態(tài)。

　　設置參數：根據被檢件的具體要求，設置儀器的檢測參數，如檢測模式、檢測時間、報警閾值等。

　　開始檢漏：將疑似泄漏的部件放入檢測艙或用吸槍靠近疑似泄漏點，啟動檢漏程序，儀器會自動進行檢測。

　　觀察檢測結果：在檢測過程中，密切觀察儀器的顯示屏幕，關注檢測數據的變化，判斷是否存在泄漏。

　　記錄數據：如果存在泄漏，應記錄泄漏的具體位置和泄漏率，以便后續(xù)處理。

　　3、后續(xù)處理階段

　　關閉儀器：檢漏完成后，關閉儀器的電源開關，斷開電源和氣源。

　　清理儀器：對儀器進行清理和保養(yǎng)，保持儀器的清潔和良好的工作狀態(tài)。

　　分析結果：對檢測數據進行分析，判斷泄漏的原因和嚴重程度，制定相應的處理措施。

　　修復泄漏：對于檢測出的泄漏點，應采取適當的修復措施，如更換密封件、緊固螺絲等。

　　復檢：修復完成后，應對被檢件進行復檢，確保泄漏已經得到妥善處理。